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200mm
300mm
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1000mm
360°
±3°
±4°
±6°
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±10°
±10
±15°
±15
50×50
120×120
其他
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台面尺寸：
全部
40mm×40mm
120mm×120mm
125mm×125mm
150mm×150mm
200mm×200mm
240mm×240mm
φ102mm
φ196mm
φ60mm
60mm×60mm
80mm×80mm
φ75mm
其他
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重复定位精度：
全部
≤±1um
≤±1.5um
≤±2um
≤±2.5um
≤±3um
≤±5um
≤±0.003°
≤±0.005°
≤±0.015°
±3um
±0.001°
±0.005°
其他
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电机类型：
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五相步进电机
二相步进电机
精密等级：
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