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有效行程：
全部
8mm
10mm
15mm
20mm
25mm
30mm
40mm
50mm
75mm
100mm
150mm
200mm
300mm
400mm
600mm
800mm
1000mm
360°
±3°
±4°
±6°
±8°
±9°
±10°
±15°
±10
±15
50×50
120×120
其他
更多
台面尺寸：
全部
40mm×40mm
120mm×120mm
125mm×125mm
150mm×150mm
200mm×200mm
240mm×240mm
φ102mm
φ196mm
φ60mm
60mm×60mm
80mm×80mm
φ75mm
其他
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重复定位精度：
全部
≤±1um
≤±1.5um
≤±2um
≤±2.5um
≤±3um
≤±5um
≤±0.003°
≤±0.005°
≤±0.015°
±3um
±0.001°
±0.005°
其他
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